コフロック（株） 3660-2-05 コフロック スタンダードマスフローコントローラ ３６６０－２－０５
コフロック（株） 品番：3660-2-05 コフロック スタンダードマスフローコントローラ ３６６０－２－０５ 特長専用ソレノイドアクチュエータで精密制御が可能です。高速応答センサー搭載しています。安全方向動作のノーマリクローズバルブを採用しています。用途環境計測機器に。一般分析機器に。パージ装着に。半導体関連機器に。商品スペック仕様・規格耐圧：980KPa繰返し性：±0.5%F
品番：3660-2-05
コフロック スタンダードマスフローコントローラ ３６６０－２－０５
特長専用ソレノイドアクチュエータで精密制御が可能です。高速応答センサー搭載しています。安全方向動作のノーマリクローズバルブを採用しています。用途環境計測機器に。一般分析機器に。パージ装着に。半導体関連機器に。商品スペック仕様・規格耐圧：980KPa繰返し性：±0.5%F.S以内制御範囲：2～100%F.S(MODEL3660マスフローコントローラ)応答速度：0-100%応答2秒以内(MODEL3660)動作差圧：F.S≦5SLM49～294kPa：5SLM＜F.S≦20SLM98～294kPa：20SLM＜F.S≦100SLM196～343kPa使用温度：5～45℃(精度保証：15～35℃)耐圧(KPa)：980最大流量：500SCCM接続サイズ：Rc1/4精度：±1.5%F.S以内(MODEL3660)材質本体:ステンレス(SUS316L)●Oリング:バイトン質量・質量単位876ｇ使用条件-注意事項-セット内容・付属品-製造国日本小箱入数小箱入数とは、発注単位の商品を小箱に収納した状態の数量です。1個大箱入数大箱入数とは、小箱に収納した状態で、大箱に箱詰めしている数量です。-エコマーク商品認証番号-コード39-コード128-ITF-オプション品-